臭氧間接測量法：光譜分析法是觀測穿過大氣層的太陽直射光或散射光的光譜，然后計算出臭氧含量及其鉛直分布。在臭氧吸收帶中（見大氣臭氧層），太陽直射光或散射光穿過大氣層，受到臭氧分子的吸收，并受到氣體分子和氣溶膠粒子的散射。波長為λ的單色太陽光，通過大氣層時輻射強度的削弱服從比爾定律。測量臭氧的常用光學儀器有多布森分光光度計和M-83濾光片臭氧儀。多布森分光光度計被認為是測量臭氧的標準儀器。其他類型的儀器都必須定期用它校準。M-83濾光片臭氧儀主要在蘇聯和歐洲的部分國家使用。用氣象衛星也可以測得全球臭氧的分布。如雨云4號衛星上用后向散射紫外光譜儀(BUV)和紅外干涉光譜儀(IRIS)進行大氣臭氧的觀測。前者測量大氣對太陽光的后向紫外散射，它接收2500～3400埃中12個波段的紫外光譜，由此反演出大氣臭氧含量全球的分布；后者除了測量大氣溫度和濕度外,還測量大氣臭氧（9.6微米波段，在此波段中接收 4個波長的輻射）。將這兩種光譜儀結合起來，可以探測大氣臭氧濃度隨高度的分布，例如在雨云 6號衛星上，有臨邊輻射反演輻射儀(LRIR)，它接收大氣臭氧9.6微米輻射帶的信息,用輻射傳輸方程反演，可獲得臭氧的鉛直分布。

　　臭氧直接測量法　用電化學或化學發光方法測量臭氧含量，可不受大氣透明度和天氣條件的限制，白天或黑夜均可進行觀測。

　　臭氧測量方法各有優缺點，常常要用多種方法互相補充，互相比較，以求獲得完整可靠的資料。