微波是指頻率在300兆赫茲—300吉赫茲之間的電磁波。相比于磁場、光、超聲和濕度等無線致動方式，微波可無損耗地穿透某些非透明障礙物，例如水泥、陶瓷、塑料等。同時，利用相控陣技術，微波也可實現非機械快速轉向與聚焦。

哈工大團隊利用角錐喇叭天線發射的頻率為2.47吉赫茲、功率為700瓦的微波對機器人進行驅動，并實現了多個驅動器聯合運動的定量控制。同時，他們也提出了一種基于導線和形狀記憶合金彈簧的伸縮致動器，并基于此設計了一種四足爬行機器人。該機器人長15毫米、重量僅為0.42克，展示了微波致動機器人在小型化、輕量化方面的優勢。

他們還利用4組伸縮致動器模擬植物的感性運動，黃色的導線如同植物的花蕊，當微波照射在這些“花蕊”上時，“花朵”的4片花瓣就會打開；當沒有微波時，花瓣則會全部閉合，顯示了微波在集群驅動方面的優勢。

該團隊將持續開展微波驅動相關研究，改進微波驅動的頻控能力并降低功耗，使相關技術在封閉容器內部器件控制、體內操作微器械開發等方面得到工程應用。