潔凈室能夠分為三類(lèi)，每一類(lèi)都有各自的長(zhǎng)處和缺陷：

　　1、亂流式

　　界說(shuō)：氣流以不均勻速度不平行活動(dòng)、伴有回流或渦流的潔凈室。

　　空氣由空調(diào)箱經(jīng)風(fēng)管與潔凈室內(nèi)之空氣過(guò)濾器(HEPA)進(jìn)入潔凈室，并由潔凈室兩邊隔間墻板或高架地板回風(fēng)。氣流非直線(xiàn)型運(yùn)動(dòng)而呈不規(guī)則之亂流或渦流狀況。此型式適用于潔凈室等級(jí)1,000-100,000級(jí)。

　　原理：亂流潔凈室靠送風(fēng)氣流不斷稀釋室內(nèi)空氣，將污染空氣逐步稀釋?zhuān)瑏?lái)完成潔凈的(亂流潔凈室通常規(guī)劃在千級(jí)以上至30萬(wàn)級(jí)凈化等級(jí))。

　　特性：亂流潔凈室是靠屢次換氣來(lái)完成潔凈與潔凈等級(jí)。換氣次數(shù)決定界說(shuō)中的凈化等級(jí)(換氣次數(shù)越多，凈化等級(jí)越高)

　　(1) 自?xún)魰r(shí)刻：是指潔凈室按規(guī)劃換氣次數(shù)開(kāi)端送風(fēng)到潔凈室，室內(nèi)含塵濃度到達(dá)所規(guī)劃的凈化等級(jí)的時(shí)刻。1,000級(jí)期望不超過(guò)20分鐘(可取分鐘核算)10,000級(jí)期望不超過(guò)30分鐘)(可取25分鐘核算)100,000級(jí)期望不超過(guò)分鐘(可取30分鐘核算)

　　(2) 換氣次數(shù)(按上述自?xún)魰r(shí)刻請(qǐng)求規(guī)劃)1,000級(jí)43.5—55.3次/小時(shí)(標(biāo)準(zhǔn):50次/小時(shí))10,000級(jí)23.8—28.6次/小時(shí)(標(biāo)準(zhǔn):25次/小時(shí))100,000級(jí)14.4—19.2次/小時(shí)(標(biāo)準(zhǔn):15次/小時(shí))

　　長(zhǎng)處：結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)略、體系締造本錢(qián)，潔凈室之?dāng)U大對(duì)比簡(jiǎn)略，在某些特殊用處場(chǎng)所，可并用無(wú)塵作業(yè)臺(tái)，進(jìn)步潔凈室等級(jí)。

　　缺陷：亂流形成的微塵粒子于室內(nèi)空間飄浮不易排出，易污染制程商品。別的若體系中止作業(yè)再激活，欲達(dá)需要之潔凈度，通常須耗時(shí)適當(dāng)長(zhǎng)一段時(shí)刻。

　　2、層流式

　　層流式空氣氣流運(yùn)動(dòng)成一均勻之直線(xiàn)形，空氣由掩蓋率100%之過(guò)濾器進(jìn)入室內(nèi)，并由高架地板或兩邊隔墻板回風(fēng)，此型式適用于潔凈室等級(jí)需定較高之環(huán)境運(yùn)用，通常其潔凈室等級(jí)為Class1~100。其型式可分為二種：

　　(1) 水平層流式：水平式空氣自過(guò)濾器單方向吹出，由對(duì)邊墻面之回風(fēng)體系回風(fēng)，塵土隨風(fēng)向排出室外，通常在下流側(cè)污染較嚴(yán)峻。

　　長(zhǎng)處：結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)略，作業(yè)后短時(shí)刻內(nèi)即可成為安穩(wěn)。

　　缺陷：締造費(fèi)用比亂流式高，室內(nèi)空間不易擴(kuò)大。

　　(2) 筆直層流式：房間天花板徹底以ULPA過(guò)濾器掩蓋，空氣由上往下吹，可得較高之潔凈度，在制程中或作業(yè)人員所發(fā)生的塵土可疾速排出室外而不會(huì)影響其它作業(yè)區(qū)域。

　　長(zhǎng)處：辦理簡(jiǎn)略，作業(yè)開(kāi)端短時(shí)刻內(nèi)即可達(dá)安穩(wěn)狀況，不易為作業(yè)狀況或作業(yè)人員所影響。

　　缺陷：結(jié)構(gòu)費(fèi)用較高，彈性運(yùn)用空間艱難，天花板之吊架適當(dāng)占空間，修理替換過(guò)濾器較費(fèi)事。

　　3、復(fù)合式

　　復(fù)合式為將亂流式及層流式予以復(fù)合或并用，可提供部分超潔凈之空氣。

　　(1) 潔凈地道：以HEPA或ULPA過(guò)濾器將制程區(qū)域或作業(yè)區(qū)域100%掩蓋使?jié)崈舳鹊燃?jí)進(jìn)步至10級(jí)以上，可節(jié)約裝置作業(yè)費(fèi)用。

　　此型式需將作業(yè)人員之作業(yè)區(qū)與商品和機(jī)器修理予以阻隔，以防止機(jī)器修理時(shí)影響了作業(yè)及質(zhì)量，ULSI制程大都選用此種型式。

　　潔凈地道還有二項(xiàng)長(zhǎng)處：A.彈性擴(kuò)大簡(jiǎn)略；B.修理設(shè)備時(shí)可在修理區(qū)容易履行。

　　(2) 潔凈管道：將商品流程通過(guò)的自動(dòng)出產(chǎn)線(xiàn)圍住并凈化處理，將潔凈度等級(jí)提至100級(jí)以上。因商品和作業(yè)員及發(fā)塵環(huán)境彼此阻隔，少數(shù)之送風(fēng)即可得到良好之潔凈度，可節(jié)約能源，不需人工的自動(dòng)化出產(chǎn)線(xiàn)為最適合運(yùn)用。藥品、食物業(yè)界及半導(dǎo)體業(yè)界均適用。

　　(3) 并裝部分潔凈室：將潔凈室等級(jí)10,000~100,000之亂流潔凈室內(nèi)之商品制程區(qū)的潔凈度等級(jí)進(jìn)步為10~1000級(jí)以上，以為出產(chǎn)之用;潔凈作業(yè)臺(tái)、潔凈棚、裝配式潔凈室、潔凈衣柜即屬此類(lèi)。