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專家談中國潔凈室技術發展之道
發布日期：2014-05-06 瀏覽次數：848
核心提示： 從范圍來講，有寬通空調系統、潔凈裝修、環氧涂裝、自流平、PVC地板、駕空地板、大宗氣體系統、特殊氣體系統、化學品、純水，
從范圍來講，有寬通空調系統、潔凈裝修、環氧涂裝、自流平、PVC地板、駕空地板、大宗氣體系統、特殊氣體系統、化學品、純水，這個我們達到了18.2兆的水平，這是世界的最高水平。還有廢水和其他的一些。
這個是我們國家第一條日電電子工程生產線。月投片是8000片，那么，這兩個工程是我們屬于現代電子工廠建設的前期。我們把它作為一個高科技的工廠的前期。
從潔凈室來說，它是一個比較全面的，因為時間的關系，我們不能做全面的介紹，只能從空調方面來做介紹。它對于我們國家來說，也是革命性的環境的解決方案。
這是我們典型的早期的方案，這一塊的半導體工廠的人員、車間都是在這個位置。那么，上下都是新風機，那么它的工作原理是在天花頂層有一個反復的高效作用器。這上面兩個是循環空調機，也可以放在上面，也可以放在側面。通過新風機組補充新風，通過循環風機把潔凈室通過地面下來的回風，通過循環風機對于冷量和濕度的調節，然后送到靜壓箱進行混合，然后通過頂部循環到車間里面去。
這樣，使我們整個的氣體，跟我們大型的空調不一樣。我們大型的空調可能只有幾個功能，這里是所有的空氣從頂層全部壓下來。這是我們第一步實現的現代潔凈室的原理，它達到了100級以上。
100級是什么概念呢？舉個例子，今天大家在做的環境，是我們看到的非常干凈的環境，應該是多少級呢？是200萬到300萬級，就是每立方英尺大于5個顆粒，就是相當于3.05平方米，這么大的體積里面所擁有的超過0.5以上的微米是多少。那么，我們今天這個環境，我估計在200萬到300萬G。那么，這樣的潔凈室，達到的是100微米，就是不能超過100微米，得小于100微米。
我們的集成電路在封裝之前，它的導線我們國家保守地說是0.08微米，也有說是0.07微米。所以，三個電路產生出來的全部是這個，所以環境對于成品是非常關鍵的。這是達到了100級的潔凈室。 那么，到了90年代末期，比如說長虹等等的廠家，我們弄了一個909工程開始上馬了。潔凈室的建筑面積達到了1萬3千平方米，凈化面積是1G。那么剛才說的是100級，那么現在說的是1級。剛才我講的0.5微米以上是100級，那么這里要求的是更高，是0.12微米。所以潔凈室的技術進一步提高了。
通過干盤管進行溫度的交換，在兩邊從這里往上走。走到我們上面的靜壓箱，然后通過另外一個全新的設備，就是FFU，這是什么意思呢？就是高效空氣過濾單元，通過它往下走。新風空調機在這里，我們要往上送，它從創新的角度核心上來說，就是用了FFU這個東西。
它從工作原理上，解決了我們前面一個原理。前面一個過程是什么呢？雖然是完全從頂上壓下來，我們空氣潔凈決定空氣的氣流組成形式。就是從理論上，要嚴格地每一個空氣都垂直下來，全部地壓下來。這樣的話，我們的空氣會相當地干凈。但是，事實上做起來會非常困難。
困難作哪里？我們可以看到，它是通過外部的風機把它送上去，送進去以后在這里往下壓。那么，這必然存在著一個阻力不平衡的問題，那么阻力大的地方風速就大，阻力小的地方風速就小，就不能嚴格地保證這個風體的垂直性。
我們這里把整個的屋面，保證垂直的情況下，這樣才能做到1級。1級是什么概念？就是1平方米只能是1微米，但是做可不能這樣，因為你考慮不能按照60分考，你按照60分考，你就可能是58分。所以，你要按照70分、80分去考，所以1微米等于是沒有做。
到了這個級別我們的凈化是跟FFU的物質密度有關系，那么物質密度越大，氣流就越多，但是帶來的問題是對于整個空氣循環的量非常大。那么，我們這邊通道的要求就要很寬敞，那么空氣的量越大，對于空氣處理的量就越大。我們空氣每發生一次循環，就有一個溫升，溫度就要提高，所以冷卻。所以，它處理的量就大了，那么這邊的阻力就加大了。
所以剛才前面這種方式，帶來的一個問題就是，所有的空氣全部要從這里翻過去。那么，整個把這里布滿了，溫度還處理不過來。
這個是上海廣電的潔凈室，他的面積達到了5萬平米。那么，它帶來的問題，就是說這里有一個叫做RHU來解決問題。這個區域是我們車間，所以我們的潔凈室的造價是非常昂貴的，這么大的房子里面真正用于生產的只有這么小的地方，上面的是級別高的地方有風機，級別低的地方也有風機。
下面的室外送風機凈化了室內的空氣，凈化排氣排出了室內的空氣。通過RHU這個設備，把新風送上去。這個設備既對室內溫度進行了控制，又增加了送風的動力，減少了剛才談的所帶來的一個阻力比例，把這個空氣循環的速度加快了，速度見效了。也就是說，RHU選用的，使得照明系統降低了。
這是剛完成的一個項目，它的潔凈區面積達到了12000平方米。我們平常看到的潔凈室的面積是很小的，有幾百平米就是好的。那么，這個方式跟剛才那個方式幾乎是一樣的，但是作為一個小小的區別，就是RHU的設備，不是座落在一個角落上，它是在整個的下加層都可以。那么，這是房間設置中的車間。對于車間的生產設備的限制變小了，下面的RHU的布置率可以不斷地增加。所以，空氣的溫度和濕度的處理，就得到了一個提升。這就使得空氣回來在這里處理，然后處理完了再回到潔凈室。
它解決了我們工廠經常發生的技術升級的問題，因為技術升級帶來了設備的調整。設備的熱量和濕度的數不是一個穩定的，隨著它的變化可以通過RHU分解增加來解決。所以，這使一個工廠變得非常靈活可用。我們知道，潔凈廠房的成本非常高，所以這樣可以擴大利用率。 現在的潔凈室的建設越來越大，這是一個四川的顯示器公司的潔凈室的建設，他們目前是中國最大的潔凈室，面積達到了2萬米。這個方式還是用了RHU的方式，他們對于潔凈室的要求很高，他們的空氣處理量相對比較少，他們也是有了FFU，就是單密度空氣，通過FFU處理完，送到潔凈室，潔凈室再通過地板回到下加層，是這么一個循環過程。如果級別提高的話，那么這個可以更成熟。
針對目前我們比較流行的節能減排的提倡，我們也做了一個潔凈室的經驗值比較。這個是我們國內最早的潔凈室，它們的能耗，隨著庫存率的提高，這個是以平米的消耗能源的噸位數為基礎。當我們目前采用了FFU的方式之后，我們可以看到基本上一半的潔凈室達到了50%。
這個是我們國家第一條日電電子工程生產線。月投片是8000片，那么，這兩個工程是我們屬于現代電子工廠建設的前期。我們把它作為一個高科技的工廠的前期。
從潔凈室來說，它是一個比較全面的，因為時間的關系，我們不能做全面的介紹，只能從空調方面來做介紹。它對于我們國家來說，也是革命性的環境的解決方案。
這是我們典型的早期的方案，這一塊的半導體工廠的人員、車間都是在這個位置。那么，上下都是新風機，那么它的工作原理是在天花頂層有一個反復的高效作用器。這上面兩個是循環空調機，也可以放在上面，也可以放在側面。通過新風機組補充新風，通過循環風機把潔凈室通過地面下來的回風，通過循環風機對于冷量和濕度的調節，然后送到靜壓箱進行混合，然后通過頂部循環到車間里面去。
這樣，使我們整個的氣體，跟我們大型的空調不一樣。我們大型的空調可能只有幾個功能，這里是所有的空氣從頂層全部壓下來。這是我們第一步實現的現代潔凈室的原理，它達到了100級以上。
100級是什么概念呢？舉個例子，今天大家在做的環境，是我們看到的非常干凈的環境，應該是多少級呢？是200萬到300萬級，就是每立方英尺大于5個顆粒，就是相當于3.05平方米，這么大的體積里面所擁有的超過0.5以上的微米是多少。那么，我們今天這個環境，我估計在200萬到300萬G。那么，這樣的潔凈室，達到的是100微米，就是不能超過100微米，得小于100微米。
我們的集成電路在封裝之前，它的導線我們國家保守地說是0.08微米，也有說是0.07微米。所以，三個電路產生出來的全部是這個，所以環境對于成品是非常關鍵的。這是達到了100級的潔凈室。 那么，到了90年代末期，比如說長虹等等的廠家，我們弄了一個909工程開始上馬了。潔凈室的建筑面積達到了1萬3千平方米，凈化面積是1G。那么剛才說的是100級，那么現在說的是1級。剛才我講的0.5微米以上是100級，那么這里要求的是更高，是0.12微米。所以潔凈室的技術進一步提高了。
通過干盤管進行溫度的交換，在兩邊從這里往上走。走到我們上面的靜壓箱，然后通過另外一個全新的設備，就是FFU，這是什么意思呢？就是高效空氣過濾單元，通過它往下走。新風空調機在這里，我們要往上送，它從創新的角度核心上來說，就是用了FFU這個東西。
它從工作原理上，解決了我們前面一個原理。前面一個過程是什么呢？雖然是完全從頂上壓下來，我們空氣潔凈決定空氣的氣流組成形式。就是從理論上，要嚴格地每一個空氣都垂直下來，全部地壓下來。這樣的話，我們的空氣會相當地干凈。但是，事實上做起來會非常困難。
困難作哪里？我們可以看到，它是通過外部的風機把它送上去，送進去以后在這里往下壓。那么，這必然存在著一個阻力不平衡的問題，那么阻力大的地方風速就大，阻力小的地方風速就小，就不能嚴格地保證這個風體的垂直性。
我們這里把整個的屋面，保證垂直的情況下，這樣才能做到1級。1級是什么概念？就是1平方米只能是1微米，但是做可不能這樣，因為你考慮不能按照60分考，你按照60分考，你就可能是58分。所以，你要按照70分、80分去考，所以1微米等于是沒有做。
到了這個級別我們的凈化是跟FFU的物質密度有關系，那么物質密度越大，氣流就越多，但是帶來的問題是對于整個空氣循環的量非常大。那么，我們這邊通道的要求就要很寬敞，那么空氣的量越大，對于空氣處理的量就越大。我們空氣每發生一次循環，就有一個溫升，溫度就要提高，所以冷卻。所以，它處理的量就大了，那么這邊的阻力就加大了。
所以剛才前面這種方式，帶來的一個問題就是，所有的空氣全部要從這里翻過去。那么，整個把這里布滿了，溫度還處理不過來。
這個是上海廣電的潔凈室，他的面積達到了5萬平米。那么，它帶來的問題，就是說這里有一個叫做RHU來解決問題。這個區域是我們車間，所以我們的潔凈室的造價是非常昂貴的，這么大的房子里面真正用于生產的只有這么小的地方，上面的是級別高的地方有風機，級別低的地方也有風機。
下面的室外送風機凈化了室內的空氣，凈化排氣排出了室內的空氣。通過RHU這個設備，把新風送上去。這個設備既對室內溫度進行了控制，又增加了送風的動力，減少了剛才談的所帶來的一個阻力比例，把這個空氣循環的速度加快了，速度見效了。也就是說，RHU選用的，使得照明系統降低了。
這是剛完成的一個項目，它的潔凈區面積達到了12000平方米。我們平常看到的潔凈室的面積是很小的，有幾百平米就是好的。那么，這個方式跟剛才那個方式幾乎是一樣的，但是作為一個小小的區別，就是RHU的設備，不是座落在一個角落上，它是在整個的下加層都可以。那么，這是房間設置中的車間。對于車間的生產設備的限制變小了，下面的RHU的布置率可以不斷地增加。所以，空氣的溫度和濕度的處理，就得到了一個提升。這就使得空氣回來在這里處理，然后處理完了再回到潔凈室。
它解決了我們工廠經常發生的技術升級的問題，因為技術升級帶來了設備的調整。設備的熱量和濕度的數不是一個穩定的，隨著它的變化可以通過RHU分解增加來解決。所以，這使一個工廠變得非常靈活可用。我們知道，潔凈廠房的成本非常高，所以這樣可以擴大利用率。 現在的潔凈室的建設越來越大，這是一個四川的顯示器公司的潔凈室的建設，他們目前是中國最大的潔凈室，面積達到了2萬米。這個方式還是用了RHU的方式，他們對于潔凈室的要求很高，他們的空氣處理量相對比較少，他們也是有了FFU，就是單密度空氣，通過FFU處理完，送到潔凈室，潔凈室再通過地板回到下加層，是這么一個循環過程。如果級別提高的話，那么這個可以更成熟。
針對目前我們比較流行的節能減排的提倡，我們也做了一個潔凈室的經驗值比較。這個是我們國內最早的潔凈室，它們的能耗，隨著庫存率的提高，這個是以平米的消耗能源的噸位數為基礎。當我們目前采用了FFU的方式之后，我們可以看到基本上一半的潔凈室達到了50%。
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