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揚(yáng)帆無塵室工程: 凈化技術(shù)與設(shè)備的應(yīng)用趨
日期:2013-08-12 17:35
日本清水建設(shè)公司一家,1982年到1987年期間承建的潔凈室面積達(dá)71.8萬平方米,而我國目前一年承建的潔凈室總面積還不到10萬平方米,但八五期間有較大發(fā)展,1993年承建潔凈室總面積已接近15萬平方米。美國的潔凈室建設(shè)規(guī)模更大,1998年統(tǒng)計已達(dá)188.5萬平方米。在潔凈工程技術(shù)水平上,80年代末期,國外已大量建成0.1微米級的超凈室,1987年日本三洋新瀉工場建成十級潔凈廠房3000平方米,NIT原木則建成了四個1000平方米控制0.1微米塵埃的千級廠房,換氣次數(shù)高達(dá)300次/分。美國在臺灣的TSMCS新廠已建成第四代管道式潔凈室總面積達(dá)10000平方米。
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