日期:2015-10-12 11:50
特殊用處場所，可并用無塵作業臺，進步潔凈室等級。
缺陷：亂流形成的微塵粒子于室內空間飄浮不易排出，易污染制程商品。別的若體系中止作業再激活，欲達需要之潔凈度，通常須耗時適當長一段時刻。
2、層流式
層流式空氣氣流運動成一均勻之直線形，空氣由掩蓋率100%之過濾器進入室內，并由高架地板或兩邊隔墻板回風，此型式適用于潔凈室等級需定較高之環境運用，通常其潔凈室等級為Class1~100。其型式可分為二種：
(1) 水平層流式：水平式空氣自過濾器單方向吹出，由對邊墻面之回風體系回風，塵土隨風向排出室外，通