日期:2015-10-12 11:50
以復(fù)合或并用，可提供部分超潔凈之空氣。
(1) 潔凈地道：以HEPA或ULPA過濾器將制程區(qū)域或作業(yè)區(qū)域100%掩蓋使?jié)崈舳鹊燃夁M步至10級以上，可節(jié)約裝置作業(yè)費用。
此型式需將作業(yè)人員之作業(yè)區(qū)與商品和機器修理予以阻隔，以防止機器修理時影響了作業(yè)及質(zhì)量，ULSI制程大都選用此種型式。
潔凈地道還有二項長處：A.彈性擴大簡略；B.修理設(shè)備時可在修理區(qū)容易履行。
(2) 潔凈管道：將商品流程通過的自動出產(chǎn)線圍住并凈化處理，將潔凈度等級提至100級以上。因商品和作業(yè)員及發(fā)塵環(huán)境彼此阻隔，少數(shù)之送風(fēng)即可得到良好之潔凈度